超聲波法檢測開關柜局部放電的具體方法，通常是將超聲波傳感器固定在被檢測開關柜的外殼上，利用壓電晶體作為聲電轉化元件。當其內部發生放電時，局部放電產生的聲波信號傳遞到開關柜表面，由超聲波傳感器將超聲信號轉換為電信號，并經進一步放大及信號處理后傳輸到采集系統進行分析，以達到檢測局部放電的目的，具體如圖所示：

開關柜局部放電超聲波法方法示意圖

超聲波在柜體內傳播時還會發生不同程度的折反射，在一定的角度超聲波發生全發射而接收不到信號，其中路徑1為超聲波信號在空氣中以zui短的路徑傳播到開柜體內壁，再在金屬內壁內傳播到達傳感器。路徑2為超聲波信號在空氣中從放電源直接傳播到傳感器位置，再透過金屬柜壁進入傳感器。

超聲波檢測法zui大的優點是不受電氣上的干擾，且可以實現放電源的準確定位，但是開關柜內游離顆粒對柜壁的碰撞可能對檢測結果造成干擾；同時由于開關柜內部絕緣結構復雜，以及超聲波的衰減和折反射，使得有些絕緣內部的局部放電可能無法被檢測到。